化學蝕刻·在線溶液分析添加控制系統

溶液(蝕刻劑)的控制是化學蝕刻工藝的關鍵之一,直接關乎蝕刻效率、質量及合格
率。簡化投資模式時,出于投資考慮均忽略了這一重要問題,造成了“靠師傅吃飯”的局面。
為破解這這道難題,同時滿足日益增長的產能需求,給蝕刻機(線)加配相應的溶液在線控
制添加系統,成為多數企業主的明智選擇。
蝕刻溶液在線控制添加系統主要分為兩機型:
1、數顯式控制系統;
2、人機界面式控制系統。
不論何種機型,均是通過取樣系統對工作液進行在線分析,并自動進行相關成分的控
量添加。
溶液在線控制添加系統,可以新機配置,亦可對舊機進行改造。
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